頭部高度
FlyEye300W
單模組2D/3D晶圓外觀檢查量測機
機器特長
* 靈活對應8-12英寸裸晶圓/鐵環晶圓，選配對應方板以及其他單顆類產品
* 高精度高產出（最高像素可達0.225微米 / 10微米缺陷檢出時，2D/3D檢查WPH高達70片）
* 單體CCD相機檢測2D/3D數據及缺陷
* 數字共聚焦解決方案及算法提供出色的精度及適配性
規格參數
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