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頭部高度
bg
半導(dǎo)體晶圓制造
WLCSP植球機(jī)
功能
自動(dòng)晶圓植球。自動(dòng)對(duì)位,自動(dòng)印刷和自動(dòng)植球。
采用鋼網(wǎng)印刷的方式,印刷助焊劑和錫球,球通過鋼網(wǎng)孔落到pad上,助焊劑固定。

特長(zhǎng)
上下視野鏡頭自動(dòng)定位,運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)采用直線電機(jī)和DD motor,提高速度和精度。
獨(dú)有的植球機(jī)構(gòu),特別適合微球植球,不傷球
模塊化結(jié)構(gòu),可以做成單機(jī),也可以做成連線式機(jī)臺(tái)。

規(guī)格
對(duì)應(yīng)球:50-300微米
對(duì)應(yīng)產(chǎn)品:6,8,12Inch wafer
植球良率:不良率≤30PPM
速度:UPH40(12Inch wafer,200微米球)
機(jī)器尺寸:3595W×1685D×1650H [mm]

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