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半導(dǎo)體晶圓制造
AGV用于晶圓盒搬運
集成自主導(dǎo)航AGV小車和協(xié)作機器人,用于搬運晶圓料盒等,智能控制,自主導(dǎo)航,視覺定位,安全協(xié)作,自動上下料。
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